半自動、全自動探針臺

產(chǎn)地：美國

型號：SPS-2600，SPS-2800；

技術(shù)規(guī)格：

1. 支持最大晶圓尺寸：300mm

2. X-Y軸移動重復性：+/-1.5mm

3. X-Y軸移動分辨率：5 mm

4. X-Y軸移動速率：50mm/s

5. Z軸移動重復性：+/-1mm，移動分辨率：1mm

6. Z軸移動速率：10mm/s

7. 顯微鏡分辨率：4mm

8. 可測試溫度：RT~200℃

9.軟件全自動控制平臺移動。