產地：德國尤尼坦；
型號：VPO-300，VPO-200；
VPO-300為德國Unitemp進口的高品質快速退火爐。臺式設計，配備了人機界面，全自動控制，優異的溫控均勻性和熱處理重現性，適合科研、工藝開發和生產。
VPO-300適合12英寸晶圓或者300mm x 300mm尺寸的樣品退火，適用于大尺寸太陽能電池片的快速退火。
VPO-300快速退火爐給12英寸晶圓退火，可以保證整片晶圓的溫控均勻性≤ 1.5%！
技術規格：
- 最高溫度：1000攝氏度；
- 升溫速率：40攝氏度/秒；
- 降溫速度：200攝氏度/分鐘；
- 溫控均勻性：≤ 1.5%設定溫度；
- 加熱方式：紅外鹵素燈，頂部及底部加熱；
- 燈管數量及功率：48支/36千瓦；
- 腔體冷卻：水冷方式；
- 襯底冷卻：氮氣吹掃；
- 工藝氣路：MFC控制，最多3路 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等)；
- 主機尺寸及重量：505mm x 504mm x 830mm (W x D x H)，約100Kg；
儀器特點：
- 真空快速退火爐，有低真空型號(10-3 hPa)、高真空型號(10-6 hPa)；
- 可在不同氣氛環境下使用，如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等；
- 控制方式：SIMATIC, SPS人機界面控制，7英寸觸摸屏；
- 可存儲50個程序，每個程序最多分為50段控制；
- 全自動智能控制，包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環水均可自動設置；
- 優異的溫控均勻性，極佳的工藝重現性；
- 臺式設計，不占用太大空間；
應用領域：
- 離子注入/接觸退火；
- 快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用；
- SiAu, SiAl, SiMo合金化；
- 低介電材料；
- 晶體化，致密化；
- 太陽能電池片鍵合；
等等...
參考用戶：
中科院上海技術物理研究所、中電13所、西安炬光等...
