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河南大學PEALD驗收38
發表時間:2022-02-17 11:09 河南大學購買的Angstrom III雙腔室原子層沉積系統,配置8路源。近日完成了儀器安裝和用戶培訓。這臺原子層沉積設備除了做常規的薄膜沉積外,還可以做粉末材料的包覆。該ALD各項指標達到了合同要求,目前已經完成設備驗收。 聲明:此篇為南通宏騰微電子技術有限公司原創文章,轉載請標明出處鏈接:http://www.tyskfyy.cn/h-nd-45.html
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